| Module | Title | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|
| Microsystems development | Entwicklung von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 505608 | | |
| Konstruktion von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 505607 | | |
| Entwicklung von Mikrosystemen | Vorlesung/Übung | | 497450 | Mi 12:15-15:15 t.b.d. (×13) | |
| Entwicklung von Mikrosystemen | Vorlesung/Übung | | 497450 | Mi 12:15-15:15 t.b.d. (×13) | |
| Ultra-Precision Technology I | Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 504901 | | |
| Ultrapräzisionstechnik I | Vorlesung/Übung | | 498077 | | |
| Ultra-Precision Technology II | Ultrapräzisionstechnik II | Fach-/Modulprüfung | 6 | 504907 | | |